分分快三

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CP12 全主动12英寸探针台

名目

CP12探针台

机(ji)台尺寸

1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

合用晶圆

200mm,300mm

晶圆厚度

250~2000μm

Die Size

350μm ~76,000μm

晶圆搬(ban)运(yun)体例

反面真空吸收,双Arm

针(zhen)测精度

XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

XY平台

反复定位精度±1μm

Z轴

反复定(ding)位精度(du)±1.5μm,最大速率30mm/s

针(zhen)测压(ya)力(li)

50kg(可选(xuan)200kg)

校准体(ti)例

图象(xiang)校准,凹(ao)凸倍(bei)模板婚配

Index Time

240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

测(ce)试温度(du)

常温~150℃±1℃

通信接口

GPIB,预留TTL和RS232

可选功效

ID读取,主动换卡

 

※首要针对CIS和SOC产物推出的高性价比探针台

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